♦ X射線(xiàn)熒光光譜通常用于分析均勻樣品中的成分含量。對(duì)于大多數(shù)樣品來(lái)講，樣品中被激發(fā)的各個(gè)元素的X射線(xiàn)熒光只來(lái)自于樣品表面，樣品內(nèi)部的X射線(xiàn)熒光被樣品本身吸收了。所以，X射線(xiàn)熒光信號(hào)的強(qiáng)度與樣品的厚度無(wú)關(guān)。這種樣品稱(chēng)之為無(wú)限厚樣品。

♦ 當(dāng)樣品很薄時(shí)，比如鍍層樣品，樣品中被激發(fā)的X射線(xiàn)熒光可能會(huì)穿透鍍層，鍍層的厚薄會(huì)影響X射線(xiàn)熒光信號(hào)的強(qiáng)弱，鍍層越厚，鍍層中被激發(fā)的X射線(xiàn)熒光信號(hào)就越強(qiáng)。

♦ 當(dāng)鍍層的厚度或鍍層的成分發(fā)生變化時(shí)，X射線(xiàn)熒光的信號(hào)會(huì)隨之變化。通過(guò)建立鍍層厚度和成分與X射線(xiàn)信號(hào)強(qiáng)度的關(guān)聯(lián)關(guān)系，就可以分析鍍層的厚度和成分。

鍍層樣品

非無(wú)限厚樣品

當(dāng)樣品的厚度達(dá)不到無(wú)限厚時(shí)，如鍍層樣品，X射線(xiàn)熒光信號(hào)的強(qiáng)度取決于：

  ♦ 鍍層的厚度

  ♦ 鍍層中各元素的含量

2種分析鍍層厚度的方法

發(fā)射方法和吸收方法

測(cè)量鍍層中的元素

發(fā)射方法

測(cè)量基底元素

吸收方法（鍍層對(duì)基底元素的吸收）

X射線(xiàn)熒光和鍍層厚度的關(guān)系

基底元素信號(hào)與鍍層厚度的關(guān)系

發(fā)射方法可以分析的鍍層厚度：

<產(chǎn)生90%的信號(hào)的厚度

吸收方法可以分析的鍍層厚度：

<3 × 吸收90%信號(hào)的厚度

  ♦ 鍍層越厚，對(duì)基底元素的X射線(xiàn)熒光信號(hào)的吸收就越嚴(yán)重

  ♦ 吸收方法可以分析的厚度：3倍的90%吸收的厚度

  ♦ 發(fā)射方法適合測(cè)量薄鍍層，吸收方法適合測(cè)量厚鍍層

例子1：

采用發(fā)射方法測(cè)量鍍層 

  ♦ 樣品: （探測(cè)器窗膜）聚合物上鍍了23 nm的Al

  ♦ 需要輸入的信息

  1.基底材料：100%CH₂

  2.鍍層材料：100% Al

  3.鍍層密度：2.7g /cm³

^?

  ♦ 測(cè)量的譜線(xiàn)：Al Ka1

  ♦ 鍍層軟件的分析結(jié)果：23.2 nm

  ♦ 通過(guò)測(cè)量鍍層材料中 Al Ka1 ，根據(jù)Al Ka1 的發(fā)射情況，計(jì)算鋁鍍層的厚度。

例子2：

采用吸收方法測(cè)量鍍層

  ♦ 樣品：Zn的上面鍍了10 µm的Al

  ♦ 需要輸入的信息

  1.基底材料：100% Zn

  2.鍍層材料：100% Al

  3.鍍層密度：2.7g /cm³

  ♦ 測(cè)量的譜線(xiàn)：Zn Ka1

  ♦ 鍍層軟件的分析結(jié)果：9.74  µm

  ♦ 通過(guò)測(cè)量基底材料中Zn Ka1，根據(jù)鋁鍍層對(duì) Zn Ka1 的吸收情況，計(jì)算鋁鍍層的厚度。

ML-QUANT 多層膜分析軟件

可以分析各層的成分和厚度